[東京 8日 ロイター] - 総務省は8日、東京エレクトロンと子会社に対して、許可を受けずに高周波利用設備を設置し運用していたとして、行政指導を行ったと発表した。今後、このような事態が起きないよう指導した。
同社の広報担当によると、半導体製造装置に搭載の高周波電源等の使用に関し、電波法上の許可申請を行っていなかった。電波障害の影響はなく、当該機器については既に許可を得ている、という。
[東京 8日 ロイター] - 総務省は8日、東京エレクトロンと子会社に対して、許可を受けずに高周波利用設備を設置し運用していたとして、行政指導を行ったと発表した。今後、このような事態が起きないよう指導した。
同社の広報担当によると、半導体製造装置に搭載の高周波電源等の使用に関し、電波法上の許可申請を行っていなかった。電波障害の影響はなく、当該機器については既に許可を得ている、という。