アクセリス・テクノロジーズ（Axcelis Technologies Inc）は、半導体チップの製造に使用されるイオン注入装置やその他の処理装置の設計、製造、サービスを提供する。【事業内容】多様な用途に対応する高エネルギー、高電流、中電流のインプランター製品群を提供する。また、装置だけでなく、中古工具、スペアパーツ、装置のアップグレード、メンテナンスサービス、顧客トレーニングなど、広範なアフターマーケットライフサイクル製品およびサービスを提供する。「Purion」フラッグシップシステムは、すべて共通のプラットフォームをベースにして、インプラントの純度、精度、生産性を両立させることができる。「Purion」製品は、単一のウェーハエンドステーションと先進のスポットビームアーキテクチャ（ウェーハ上のすべての点が同じビーム角度で同じビーム状態を見ることを保証する）を組み合わせ、高い生産性でデバイス性能と収率を最適化するプロセス制御を可能にする。世界中の半導体チップメーカーに製品を販売する。