SK Materials Co Ltd (036490)

SKマテリアルズ（SK Materials Co Ltd）（旧名：OCI Materials Co Ltd）は、特殊ガスと工業用ガスの製造・販売を行う韓国会社である。【事業内容】半導体とディスプレイパネルの製造工程で使用される特殊ガスの製造事業、及び酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素ガスを生産する産業ガス製造事業を行う。化学蒸着（CVD）チャンバーの内壁にある残留物を除去するために注入される三フッ化窒素（NF3）、半導体のウェーハ上にシリコンを堆積させたり、TFT-LCDのガラス基板の上のTFTにシリコンを堆積させたりするために使用されるシラン（SiH4）、CVDプロセス中にコンタクトプラグを形成する六フッ化タングステン（WF6）、及びSiH4CVD及びエピタキシャルシリコンの堆積のためにアンモニアと組み合わせて使用されるシリコン前駆体ガスであるジクロロシラン（DCS）を製造する。